1、蓝宝石介绍 蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构.它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性.因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045℃)等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。目前**高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关,蓝宝石(单晶Al2O3 )C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小,同时符合GaN磊晶制程中耐高温的要求,使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料. 2、项目 Item 规格 Specifications 材料 Material 高纯度单晶Al2O3 晶向 Orientation C面(0001)±0.3° 对M轴偏离角度 0.20 ± 0.05° 对A轴偏离角度 0.0 ± 0.1° 直径 Dismeter 50.8±0.15mm 厚度 Thickness 330μm/430μm±25μm 总厚度偏差TTV <10μm 表面总平整度TIR ≦10μm 弯曲度 WARP ≦15μm 翘曲度 BOW -10 ~ 0μm 定位面方向 Primary Flat Location A面(11-20) 定位面偏离角度Flat Off-set Angle 0.0 ± 0.2° 定位边长Primary Flat Length 16±0.5mm 表面粗糙度Frontside Surface Roughness RA≦3?(即Ra≦0.3nm) 背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra) Ra=0.5~1.0μm 包装 Package 洁净室内真空冲氮包装